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産業用製造 & 分析技術

Contactless measurement of critical dimensions, forms and quality

レーザー光は多くの測定および分析技術に応用可能なユニークな物理特性を持っています。究極の確度を持つ波長および周波数、完璧な焦点整合(TEM00)、高いコヒーレンス性(位相品質)またCW/パルス動作モード(最小でフェムト秒)など多くの特徴があります。これらの特性はオフラインまたインライン検査においてサンプルの精密な寸法測定、距離・角度・形状測定、また内部構造測定、膜厚測定、化学分析など実に多くの応用例が考えられます。

レーザーを用いた分析技術は非接触であることからサンプルだけでなく測定用ツールも測定プロセスにおいて何らかの影響を受けない、また劣化を起こさないことも特徴のひとつです。またレーザーは遠隔操作が可能なことから究極的な低温また高温、限定的な地理的特性を持つ場所から離れた位置で必要な情報を得ることが可能です。現在においては深紫外から遠赤外、またテラヘルツにわたる広範な周波数域を持つレーザー測定技術は実に様々な産業製造プロセスにおいて広く利用されています。