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半導体 / 分析技術

Using diode lasers for semiconductor inspection and process control

半導体マーケットおよびその製品群は洗練されたプロセス技術および品質分析ツールに深く依存しています。最適な検査はサンプルがリスキーな禁止物質と接触しないこと、環境ガスまたは真空が汚染されておらず取り扱いが非常に容易かつ柔軟である非触覚的検査によって実現されます。現在までに確立された様々な検査方法の中でレーザーを用いた技術は幅広い応用例、優れた空間分解能、卓越した検出感度など多くの点で評価されています。すべてのレーザーの種類の中で最適化された波長、偏光、およびビーム品質を備えたコンパクトな半導体レーザーは長寿命と多くの要件を満たす必要のあるクリーンルームとの互換性のために多くの先進的な光学検査技術にとって第一の選択肢となります。

 

 

 

TOPTICAの半導体検査技術と対応製品

  • 薄膜分析はエリプソメトリ法により偏光されたレーザーを用いることによって達成されます。
  • フレキシブルな微細リソグラフィーでは青色およびUV波長のユニークで操作しやすいシングルモード半導体レーザーを使用します。
  • 酸素または水素のようなガスは特徴的な分子吸収周波数において高速で波長スキャンされる赤外半導体レーザーを使用することにより、密閉された環境において遠隔で検出することが可能です。
  • パーティクルは輝度の高い半導体レーザビームからの散乱光を分析することによって検出することが可能です。
  • ステッパ露光機のマスクは単一周波数半導体レーザを使用することにより、干渉計を用いて究極の精度で位置合わせすることが可能となります。
  • 高いコヒーレンスを持つ紫外域CW半導体レーザを使用することにより高価で究極の精度を要求される露光機用オプティクスの検査が可能になります。