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TopWave

266nm cwレーザー

  • 150 mW @ 266 nm
  • 長寿命 (> 10,000 時間)
  • ビーム品質 (M² < 1.3) *全てのライフタイムにて
  • 自動クリスタルシフターを含む密閉型キャビティ
  • 高い安定性, 低ノイズ CW動作, ターンキーシステム

 

産業用グレードのCW TopWave 深紫外レーザーシステムは波長266nmにおいて150mWを出力する高い安定性と信頼性を併せ持ったレーザーシステムです。高調波キャビティを含んだ完全なUVレーザー光源として特別なシールドを施しお客様の元へお届け致します。産業用途に最適な完全自動クリスタルシフターを内蔵し10,000時間以上の長寿命を実現しています。 シールドされたレーザーヘッドにはビーム品質(M² < 1.3) を提供可能にするビームシェーピング最適化機能が含まれています。クリーンルーム環境で使用されないお客様へは、出射口からの汚染を防ぐためパージラインへ直接接続するインターフェースのご提供も行っております。

TopWave 266の登場により低ノイズオペレーションが同波長レーザーの新たなベンチマークとなるでしょう。典型値<0.1% RMS以下および狭線幅なレーザー信号により測定SN比は格段に向上し、全てのユーザーはより多くの情報を得ることが可能となります。 容易に装置内に組込めるようデザインされたTopWave 266はタッチパネル、またはPCのユーザーインターフェースと連携したUSB/イーサネットを用いたリモート制御が可能です。高い光電変換効率(WEP=Wall-Plug Efficiency)によりパッシブ型ヒートシンクを用いた伝導放熱のみの冷却でオペレーションが可能です。システム内での放熱に特に敏感なアプリケーションに対しては循環型チラーのオプションもご用意しています。

TopWave 266 は半導体検査、リソグラフィーなどの産業用途またラマン分光など理化学分野における各種のアプリケーションに最適です。コスト性に優れ信頼性の高い光源を導入することにより全てのユーザーはレーザー光源自身への面倒なケアは一切不要となりアプリケーションに特化することが可能となります。